国产98在线 | 传媒麻豆,久久―日本道色综合久久,久久久精品久久久久久久久久久,国产成人精品免费久久久久,五月综合色婷婷影院在线观看,久久久亚洲精品视频

  • 虎科技 - 領先的互聯網科技媒體

中科院突破性!全固態深紫外激光技術,半導體曝光迎新光源

   時間:2025-03-25 11:11 來源:ITBEAR作者:柳晴雪

近日,國際光電工程學會(SPIE)傳來消息,中國科學院(CAS)的研究團隊在固態深紫外(DUV)激光技術領域取得了重大突破。他們成功研發出一種能夠發射193納米相干光的固態激光源,這一波長正是半導體曝光技術中的關鍵所在。

據悉,193納米波長的深紫外相干光,在半導體光刻工藝中扮演著至關重要的角色。而此次中國科學院的研究人員,則提出了一種全新的緊湊型固態納秒脈沖激光系統。該系統能夠在6千赫茲的重復頻率下,穩定地產生193納米的相干光。

在詳細的技術實現過程中,研究人員首先將自制Yb:YAG晶體放大器中的1030納米激光進行分割,其中一部分激光通過四次諧波產生技術,成功生成了258納米的激光,其輸出功率達到了1.2瓦。而剩余的部分激光,則被用于泵浦一個光學參量放大器,從而產生出700毫瓦的1553納米激光。這兩束激光在級聯LiB3O5晶體中進行頻率混合,最終產生了平均功率為70毫瓦、線寬小于880兆赫的193納米激光。

更為引人注目的是,研究人員在頻率混合前,巧妙地將螺旋相位板引入1553納米光束中,從而生成了一個攜帶軌道角動量的渦旋光束。據論文介紹,這是首次從固態激光中產生出193納米的渦旋光束,這一成果對于提升種子混合ArF準分子激光器的性能具有重要意義,同時也為晶圓加工和缺陷檢測等領域提供了潛在的應用前景。

此次研究成果不僅展示了中國科學院在固態深紫外激光技術領域的深厚實力,也為全球半導體行業的發展注入了新的活力。隨著這一技術的不斷成熟和應用,我們有理由相信,未來的半導體制造將更加高效、精確,為科技進步和社會發展提供強有力的支撐。

 
 
更多>同類內容
推薦圖文
推薦內容
點擊排行
 
智快科技微信賬號
ITBear微信賬號

微信掃一掃
加微信拉群
電動汽車群
科技數碼群

主站蜘蛛池模板: 五月天激情啪啪 | 欧美日韩在线影院 | 在线看亚洲 | 中文字幕日韩欧美 | 久久精品成人 | 亚洲国产青草 | 自拍视频网 | 狠狠久久综合伊人不卡 | 亚洲欧美偷拍视频 | 午夜丁香婷婷 | 六月丁香婷婷色狠狠久久 | 999热这里只有精品 久久亚洲精品视频 | 亚洲免费在线观看视频 | 久久久久久久九九九九 | 日韩欧美在线播放视频 | 中文字幕成人 | 依人成人综合网 | h视频网站在线观看 | 亚洲国产成人精品电影 | 久久99九九99九九精品 | 中文字幕国产在线 | 国产免费一级在线观看 | 男女男精品视频在线观看 | 亚洲成人精品在线 | 亚洲人成网站观看在线观看 | 色免费在线 | 国产精品午夜剧场 | 中文字幕精品在线视频 | gogo大胆高清免费视频 | 一男二女在线观看 | 宅男视频在线观看免费高清完整 | 羞羞的视频免费观看 | 国产三级久久久精品麻豆三级 | 日本一区二区三区视频在线 | 五月开心99 | 麻豆精品久久精品色综合 | 亚洲人成影院在线高清 | 成人精品区 | 综合久久久久6亚洲综合 | 一男二女无删减版在线观看 | 自拍视频网站 |