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俄羅斯自研350納米光刻機(jī)成功,微電子產(chǎn)業(yè)自主化邁大步!

   時間:2025-03-26 15:18 來源:ITBEAR作者:朱天宇

莫斯科市長謝爾蓋·索比亞寧近日宣布了一項(xiàng)重大科技突破:位于該市的澤列諾格勒納米技術(shù)中心已經(jīng)成功研制出俄羅斯首臺350納米光刻機(jī),并即將進(jìn)入批量生產(chǎn)的嶄新階段。

回顧過去,早在2023年,俄羅斯便雄心勃勃地提出了光刻機(jī)自主研發(fā)計(jì)劃,目標(biāo)是在2024年實(shí)現(xiàn)350納米光刻機(jī)的國產(chǎn)化,并預(yù)計(jì)在2026年更進(jìn)一步,完成130納米光刻機(jī)的研發(fā)工作。這一宏偉藍(lán)圖涉及莫斯科、澤列諾格勒、圣彼得堡及新西伯利亞等多個地區(qū)的技術(shù)協(xié)同與工廠合作。

2024年5月,俄羅斯再次傳來好消息,宣布首臺國產(chǎn)光刻機(jī)已經(jīng)組裝完成并進(jìn)入測試階段。而此次,謝爾蓋·索比亞寧不僅證實(shí)了這一消息,還首次向公眾展示了這臺具有里程碑意義的350納米光刻機(jī)的實(shí)物照片。

索比亞寧市長自豪地指出,全球范圍內(nèi)能夠制造此類半導(dǎo)體關(guān)鍵設(shè)備的國家屈指可數(shù),而俄羅斯已經(jīng)成功躋身其中。這一成就不僅標(biāo)志著俄羅斯微電子產(chǎn)業(yè)本土化進(jìn)程的重大推進(jìn),也彰顯了該國在科技自主道路上邁出的堅(jiān)實(shí)步伐。

據(jù)了解,俄羅斯這款光刻機(jī)在技術(shù)上具有顯著的創(chuàng)新性。它摒棄了傳統(tǒng)的汞燈光源,轉(zhuǎn)而采用固態(tài)激光器,這一設(shè)計(jì)不僅提高了功率和效能,還大大延長了使用壽命,并實(shí)現(xiàn)了光譜的集中優(yōu)化。該光刻機(jī)的工作區(qū)域廣闊,達(dá)到了22×22毫米,能夠支持最大直徑為200毫米的晶圓制造。

值得注意的是,我國在光刻機(jī)技術(shù)領(lǐng)域同樣取得了不俗的進(jìn)展。中科院研發(fā)的深紫外(DUV)激光光源技術(shù)同樣基于固態(tài)設(shè)計(jì),并有望在未來推進(jìn)至更先進(jìn)的3納米節(jié)點(diǎn)。然而,目前該技術(shù)仍面臨功率和頻率方面的挑戰(zhàn)。

盡管350納米工藝在當(dāng)前全球科技水平中顯得相對落后,但它仍然能夠滿足汽車、能源、通信等多個領(lǐng)域的基礎(chǔ)需求。俄羅斯在光刻機(jī)技術(shù)上的不斷突破,不僅為這些領(lǐng)域提供了有力的支持,也為該國持續(xù)推進(jìn)更先進(jìn)工藝的研發(fā)奠定了堅(jiān)實(shí)的基礎(chǔ)。

除了350納米光刻機(jī)的成功研制外,俄羅斯還在積極推進(jìn)130納米光刻機(jī)的研發(fā)工作,并有望在明年完成。俄羅斯已經(jīng)掌握了65納米工藝制造技術(shù),但目前仍依賴進(jìn)口設(shè)備。為了全面實(shí)現(xiàn)技術(shù)的國產(chǎn)化,俄羅斯正在積極籌備,努力在微電子產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)更大的突破。

 
 
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