国产98在线 | 传媒麻豆,久久―日本道色综合久久,久久久精品久久久久久久久久久,国产成人精品免费久久久久,五月综合色婷婷影院在线观看,久久久亚洲精品视频

  • 虎科技 - 領先的互聯網科技媒體

中微公司刻蝕技術新飛躍:雙反應臺刻蝕精度達0.2A亞埃級

   時間:2025-03-26 17:59 來源:ITBEAR作者:楊凌霄

中微半導體設備(上海)股份有限公司,即中微公司,近期在半導體制造技術領域取得了顯著進展。公司宣布,其ICP雙反應臺刻蝕機Primo Twin-Star?在提升反應臺間氣體控制精度方面實現了新的技術突破。

這一突破性的成就體現在刻蝕精度上,達到了前所未有的0.2A(亞埃級)水平。該精度已在氧化硅、氮化硅和多晶硅等多種薄膜材料的刻蝕工藝中得到了驗證。這一數值極為微小,僅相當于硅原子直徑2.5埃的十分之一,或是人類頭發絲平均直徑的五百萬分之一,展示了中微公司在精密制造領域的卓越實力。

在進一步的性能測試中,中微公司對200片硅片進行了重復性測試。結果顯示,在氧化硅、氮化硅和多晶硅的測試晶圓上,左右兩個反應臺各處理的100片晶圓,其平均刻蝕速度的差異分別僅為每分鐘0.9埃、1.5埃和1.0埃。值得注意的是,兩個反應臺之間的平均刻蝕速度差異(≤0.09%)遠小于單個反應臺處理多片晶圓時的刻蝕速度差異(≤0.9%),這證明了Primo Twin-Star?在刻蝕均勻性和穩定性方面的卓越表現。

中微公司還透露,其CCP雙臺機Primo D-RIE?和Primo AD-RIE?的加工精度同樣令人矚目。這兩款機器在兩個反應臺上的刻蝕重復性和生產線上的重復性已達到與Primo Twin-Star?相同的水平。在輪流加工1000片的重復性測試中,兩款機器的兩個反應臺之間的平均刻蝕速度差異僅為每分鐘9埃,小于1.0納米,再次驗證了中微公司在半導體制造領域的領先地位。

中微公司的這一系列技術突破,不僅展示了公司在半導體制造設備領域的深厚技術積累和創新實力,也為全球半導體產業的發展注入了新的活力。隨著半導體技術的不斷進步和需求的持續增長,中微公司有望在未來繼續引領行業潮流,為全球客戶提供更加優質、高效的半導體制造設備和服務。

 
 
更多>同類內容
推薦圖文
推薦內容
點擊排行
 
智快科技微信賬號
ITBear微信賬號

微信掃一掃
加微信拉群
電動汽車群
科技數碼群

主站蜘蛛池模板: 在线免费小视频 | 在线视频亚洲一区 | 中文字幕欧美日韩高清 | 亚洲欧美在线观看视频 | 亚洲另在线日韩综合色 | 亚洲国产成人精品久久 | 迪米电影网 | 在线一区二区三区 | 一区二区三区免费视频 www | 在线人成精品免费视频 | 成人精品一区二区三区 | 久久久久久久久久免免费精品 | 国产精品高清视亚洲乱码 | 国产在线视频网 | 虚无的焦点 | 国产色视频网站免费观看 | 亚洲福利网址 | 色五月情 | 国产欧美日韩看片片在线人成 | 亚洲精品国产成人99久久 | 日本久久一区二区 | 中文字幕日本久久2019 | 亚洲欧美在线视频观看 | 成人乱码一区二区三区四区 | 伊人网在线免费观看 | 国产精品久久精品视 | 亚洲自拍第二页 | 人人九九精品 | 国产精品久久久一区二区三区 | 亚洲精品高清在线观看 | 中文字幕久精品免费视频蜜桃视频 | 色香视频在线 | 亚洲永久精品网站 | 人九九精品 | 亚洲综合国产一区在线 | 久久精品国产在热久久2019 | a级毛片在线免费观看 | 国产高清视频在线播放 | 四虎在线观看一区二区 | 在线色网址 | 最新亚洲国产有精品 |