在半導(dǎo)體行業(yè)的矚目之下，全球半導(dǎo)體年度盛會(huì)SEMICON China 2025圓滿閉幕，此次盛會(huì)匯聚了超過1400家產(chǎn)業(yè)鏈上下游企業(yè)，吸引了逾十萬行業(yè)精英共聚一堂。東方晶源微電子科技（北京）有限公司，作為國內(nèi)良率提升解決方案的佼佼者，攜其全系列產(chǎn)品及最新研發(fā)成果驚艷亮相，彰顯了中國智造的強(qiáng)大實(shí)力。

展會(huì)期間，東方晶源的技術(shù)團(tuán)隊(duì)成為焦點(diǎn)，他們由資深工程師組成，連續(xù)三天舉辦了八場技術(shù)講座，內(nèi)容覆蓋電子束量測檢測設(shè)備、計(jì)算光刻軟件等核心產(chǎn)品，深入剖析了半導(dǎo)體行業(yè)的發(fā)展趨勢(shì)和技術(shù)創(chuàng)新。通過硬件與軟件的完美協(xié)同，東方晶源展示了從設(shè)備精度到數(shù)據(jù)算法的完整技術(shù)鏈條，充分展現(xiàn)了其產(chǎn)品競爭力。

技術(shù)團(tuán)隊(duì)的演講內(nèi)容詳實(shí)且富有深度，通過大量數(shù)據(jù)和典型案例，生動(dòng)詮釋了東方晶源在國產(chǎn)良率管理領(lǐng)域的技術(shù)突破和應(yīng)用實(shí)踐。這不僅讓全球行業(yè)精英對(duì)中國在該領(lǐng)域的國產(chǎn)化替代水平有了深入了解，也極大地促進(jìn)了產(chǎn)業(yè)鏈上下游的知識(shí)共享和生態(tài)建設(shè)。現(xiàn)場互動(dòng)頻繁，氣氛熱烈。

東方晶源在過去一年中，聚焦核心技術(shù)難題，持續(xù)投入研發(fā)，取得了一系列令人矚目的進(jìn)展。展會(huì)現(xiàn)場，其電子束量測檢測設(shè)備、PanGen?計(jì)算光刻平臺(tái)、YieldBook良率管理平臺(tái)等迭代新品吸引了眾多參觀者的目光。其中，DR-SEM r655、PanGen DMC?、PME工藝優(yōu)化系統(tǒng)等關(guān)鍵成果更是成為展會(huì)亮點(diǎn)，吸引了眾多上下游合作伙伴前來交流探討。

在電子束量測檢測領(lǐng)域，東方晶源繼成功推出DR-SEM r600后，經(jīng)過兩年迭代，最新一代DR-SEM r655在性能上實(shí)現(xiàn)了質(zhì)的飛躍。它搭載了新型高性能電子槍和光學(xué)檢測模組，采用升級(jí)版?zhèn)髌到y(tǒng)和智能算法，突破了多項(xiàng)技術(shù)難題，滿足了國內(nèi)先進(jìn)制程產(chǎn)線的應(yīng)用需求。同時(shí)，東方晶源自主研發(fā)的EOS成功應(yīng)用于旗下多款量測檢測設(shè)備，為產(chǎn)業(yè)鏈自主可控提供了關(guān)鍵技術(shù)支撐。

東方晶源自2014年創(chuàng)立之初，便開創(chuàng)性地提出了基于CPU+GPU混合算力架構(gòu)的全芯片反向光刻技術(shù)（ILT）解決方案。經(jīng)過十一年的持續(xù)迭代，其PanGen?良率綜合優(yōu)化平臺(tái)已廣泛應(yīng)用于國內(nèi)主流邏輯和存儲(chǔ)芯片制造商的工藝研發(fā)和量產(chǎn)中。此次展會(huì)，東方晶源展示了圍繞軟件生態(tài)的全系列工具，包括PanOVL套刻標(biāo)記優(yōu)化工具、PanGen DMC?設(shè)計(jì)可制造性檢查工具等。

PME作為東方晶源踐行HPO理念的又一力作，已在客戶現(xiàn)場完成全面部署，并正式步入產(chǎn)品驗(yàn)證與評(píng)估階段。它深度融入了東方晶源的“設(shè)備-數(shù)據(jù)-算法”三位一體、軟硬協(xié)同的良率提升解決方案，成為突破半導(dǎo)體先進(jìn)制程良率瓶頸的重要工具。同時(shí)，國內(nèi)某先進(jìn)節(jié)點(diǎn)FAB的實(shí)測結(jié)果表明，PanGen DMC?在全芯片尺度預(yù)測指標(biāo)上已達(dá)到國際先進(jìn)水平。

東方晶源始終致力于為國內(nèi)FAB客戶提供全面、高效的技術(shù)支持，以技術(shù)創(chuàng)新驅(qū)動(dòng)產(chǎn)業(yè)升級(jí)。此次展會(huì)所展示的一系列突破性成果，不僅體現(xiàn)了其現(xiàn)有的技術(shù)優(yōu)勢(shì)，更彰顯了其持續(xù)創(chuàng)新的研發(fā)實(shí)力。從電子束量測檢測到計(jì)算光刻軟件，從點(diǎn)工具到系統(tǒng)方案，東方晶源已構(gòu)建起完整的良率提升技術(shù)生態(tài)，為中國半導(dǎo)體高端設(shè)備產(chǎn)業(yè)的自主可控發(fā)展注入了強(qiáng)勁動(dòng)力。