青禾晶元公司近期宣布了一項重大技術創新,成功推出了SAB 82CWW系列混合鍵合設備,該設備是全球首臺集C2W(芯片對晶圓)與W2W(晶圓對晶圓)雙模式于一體的設備。
這款SAB 82CWW設備采用了先進的一體化架構設計,不僅支持C2W技術路徑,還兼容W2W技術,這一創新設計極大地提升了設備的適應性和靈活性,為用戶提供了更為廣泛的選擇空間。
SAB 82CWW系列設備通過巧妙的模塊化設計,實現了對8英寸(200mm)和12英寸(300mm)晶圓的全面兼容。用戶只需更換特定部件,即可輕松滿足不同尺寸晶圓的鍵合需求,大大提高了設備的實用性和靈活性。
在性能表現上,SAB 82CWW同樣不容小覷。它能夠處理厚度僅為35微米的超薄芯片,并且兼容從0.5毫米到50毫米見方的各種芯片尺寸。該設備在對準精度和鍵合精度上也達到了業界領先水平,分別實現了±30納米和±100納米的精度控制。在C2W模式下,其單鍵合頭的最高生產能力更是達到了每小時1000片,展現了出色的生產效率和性能。
青禾晶元對于SAB 82CWW系列混合鍵合設備的應用前景充滿信心。他們認為,這款設備有望在存儲器、Micro LED顯示、CMOS圖像傳感器以及光電集成等多個領域發揮重要作用,為相關產業的發展注入新的動力。